Магазин `Купить с доставкой`

Доставка до пунктов выдачи или почтой.

TwitterRSS

Информатика. Электроника. Связь
ISBN 978-5-7038-4864-7



Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. 
Для студентов МГТУ имени Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Производитель: Московский Государственный Технический Университет (МГТУ) имени Н.Э. Баумана

Цена: 1049.00 руб.

Описание:
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ имени Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».



Отобрано товаров 1
(c) nzrv.ru

Яндекс.Метрика